XP-780系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)X軸zui大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式 實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動。

XP-780系列壓電掃描臺典型應(yīng)用

• SPM掃描顯微鏡    • 干涉
• 掩模/晶圓定位    • 計(jì)量
• 生物技術(shù)    • 表面結(jié)構(gòu)分析

XP-780系列壓電掃描臺特性

• zui大位移220μm

• zui大承載5kg

• 通孔尺寸：25×25mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選

大行程、高精度、大負(fù)載
    XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理， 可以實(shí)現(xiàn)zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向 機(jī)構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實(shí)現(xiàn)納 米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。
   優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位

1~3維掃描臺

         XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格 型號，可以自由疊加組合。

XP-780系列壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。