壓電移相器是移相干涉儀中非常重要的部件，壓電式移相器由于分辨率高、響應(yīng)速度快、易于控制、性能穩(wěn)定，因此被廣泛使用。 壓電移相器應(yīng)用案例：
圖像處理/穩(wěn)定
干涉法
激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)
激光調(diào)諧
光過濾/開關(guān)
光束穩(wěn)定 壓電移相器特點(diǎn):
用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn)
10mm中空
壓電三腳設(shè)計(jì)
光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)2.4mrad
活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm（移相器）
亞毫秒響應(yīng)，亞微弧度分辨率
用于光學(xué)，鏡片或其他部件
無摩擦，高精度彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度 壓電移相器技術(shù)參數(shù)： | 型號(hào) | 開環(huán)-K | 移相器 | 偏轉(zhuǎn)鏡 | 單位 | | P36.Z1K | P36.ZT1K | | 運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | Z、θx、θy | | | 運(yùn)動(dòng)和定位 | | 傳感器類型 | - | - | | | θx、θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度 | 0~120 V | - | 550 | μrad±20% | | -20~150 V | - | 800 | μrad±20% | | Z向直線行程范圍 | 0~120 V | 8 | 8 | µm±20% | | -20~150 V | 12 | 12 | µm±20% | | 偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. | | 直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. | | 機(jī)械性能 | | 空載諧振頻率 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% | | 驅(qū)動(dòng)性能 | | 靜電容量 | 0.4 | 0.4 | μF/軸±20% | | 其他 | | 工作溫度范圍* | -20~80 | -20~80 | °C | | 材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | | | 外形尺寸（直徑-內(nèi)徑/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm×mm×mm | | 重量 | 50 | 80 | g±5% | | 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | | 電壓連接器** | LEMO | LEMO | |
*可定制超低溫版本及超高真空版本。 **可定制連接器 |
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