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型號

尾綴S-閉環 尾綴K-開環

P18.X200S P18.X200K

P18.X300S P18.X300K

P18.XY200S P18.XY200K

P18.XY300S P18.XY300K

P18.XYZ200S P18.XYZ200K

單位

運動自由度

X

X

X、Y

X、Y

X、Y、Z

標稱行程范圍(0~120V)

200

300或±150

200/軸

300或±150/軸

200/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

280

370或±185

280/軸

370或±185/軸

280/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

通孔尺寸

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

mm

閉/開環分辨率

8/5

10/5

8/5

10/5

8/5

nm

閉環線性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.15/-

0.1/-

0.15/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<10

<15

<10

<15

<15

µrad

推/拉力

60/20

150/150

60/20

150/150

30/10

N

運動方向剛度

0.3

0.5

X0.3/Y0.3

X0.5/Y0.5

X0.1/Y0.1/Z0.1

N/μm±20%

空載諧振頻率

500

600

X200/Y450

X250/Y500

X300/Y200/Z120

Hz±20%

閉/開環空載階躍時間

30/5

30/10

50/5

50/10

50/5

ms±20%

閉環空載 工作頻率

10%行程

100

50

50

40

30

Hz±20%

行程

30

15

15

10

5

大承載

2

3.5

1.5

3

1

kg

靜電容量

11

21

11/軸

21/軸

11/軸

μF±20%

材質

鋁

鋁

鋁

鋁

鋁

重量

200

220

360

380

600

g±5%