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壓電物鏡定位器在激光晶圓切割的應(yīng)用

更新時間: 2022-05-29
  壓電物鏡定位器的命名實際由它的驅(qū)動原理及其應(yīng)用目的相結(jié)合而來的。“壓電”指的是它的驅(qū)動原理,即利用PZT壓電陶瓷來作為驅(qū)動源從而產(chǎn)生運動;而“物鏡定位器”則是它的應(yīng)用目的,即用來帶載物鏡頭調(diào)節(jié)運動。但通常情況下,壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的,它可以根據(jù)實際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。
 
  通常情況下,壓電物鏡定位器的行程約100μm,但大行程版壓電物鏡定位器的行程可達1mm。例如芯明天P73系列壓電物鏡定位器,它的Z軸直線運動范圍可選200μm、500μm和1mm。同樣采用柔性鉸鏈設(shè)計機構(gòu),無摩擦、運動直線性好且閉環(huán)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計,可適配多種型號的顯微鏡。
 
  壓電物鏡定位器的特點主要是其高精度的運動以及超快速的響應(yīng)速度。這個高精度到底有多高呢?分辨率可≤1nm!壓電物鏡定位器的分辨率可高至比1納米(nm,1nm=10^-9m)還要微小。
 
  激光晶圓切割的原理是激光經(jīng)過透鏡聚焦,再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置,使焦點準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位,使被切割部位溫度急速升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成由多個點連成的切縫從而達到切割的目的。
 
  壓電物鏡定位器堅固的設(shè)計提供了非常快的穩(wěn)定時間及掃描頻率,即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計,使它具有較高的剛度,同時保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動態(tài)性。
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