基于柔性鉸鏈結構的壓電納米定位臺
在計量學、超高分辨率顯微鏡、干涉測量等應用系統中，對定位精度有著越來越高的要求，這就需要高性能的納米級壓電定位臺作為技術支持。為了實現納米級的精密定位，需要高精度的驅動方式和傳動方式，使定位臺達到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅動元件，柔性鉸鏈機構作為傳動裝置構成高精度定位系統可實現納米級精密定位。
通常柔性鉸鏈摩擦的影響可以忽略不計，但是在納米定位要求中卻是相當重要而不可忽略。芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機構的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機構中的應用，實現高分辨率以及大位移行程。
柔性鉸鏈機構結構緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高、頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。
同時，壓電納米定位臺的行程也可通過機構放大式柔性鉸鏈放大。壓電陶瓷被集成在柔性接頭內，行程可擴展至毫米級。
芯明天壓電納米定位臺
芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像等系統。
