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壓電陶瓷的典型應(yīng)用案例

更新時(shí)間: 2019-01-14

芯明天壓電陶瓷是以PZT鋯鈦酸鉛為材料的PZT壓電陶瓷,具有正壓電效應(yīng)及逆壓電效應(yīng)。芯明天壓電陶瓷的應(yīng)用可覆蓋半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信、集成光學(xué)、生物科技、生命技術(shù)、精密加工、測量、激光技術(shù)、光學(xué)檢測、摩擦學(xué)、新藥設(shè)計(jì)、醫(yī)療技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲技術(shù)、天文、自適應(yīng)光學(xué)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、顯微與成像、航天、圖像處理、低溫與真空環(huán)境等。

光束跟蹤

自動(dòng)激光束定位跟蹤運(yùn)動(dòng)物體,在生物學(xué)應(yīng)用中,將激光束用于細(xì)胞刺激。需要實(shí)時(shí)控制激光束的位置以跟蹤細(xì)胞的運(yùn)動(dòng),而由于熱效應(yīng)或外部振動(dòng),很難實(shí)現(xiàn)將激光束保持在細(xì)胞上的重要要求。

使用兩套壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的兩軸壓電偏轉(zhuǎn)鏡及位置探測器,壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)鏡可根據(jù)位置探測器的信號實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)光束的位置,調(diào)節(jié)速度可達(dá)幾毫秒,頻率可達(dá)百赫茲。

 

微操作

在集成顯微鏡與微操作探針的顯微系統(tǒng)中,對樣品的微操作精度要求非常高。

利用壓電陶瓷促動(dòng)器及壓電陶瓷平臺進(jìn)行微操作調(diào)節(jié),可獲得XYZ三維百微米操作范圍,以及10微米探針直線運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié),通過軟件即可完成控制。

 

利用白光干涉法進(jìn)行結(jié)構(gòu)的三維表面檢測。例如,對發(fā)動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)的三維檢測,發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸表面的珩磨是延長內(nèi)燃機(jī)壽命、減少污染和節(jié)約資源的常用方法。珩磨過程非常復(fù)雜,需對這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的檢測分析。

利用芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器,使得物鏡進(jìn)行非常的移動(dòng),步進(jìn)精度在2.5nm,聚焦范圍可達(dá)550μm,用于產(chǎn)生高分辨率圖像。在芯明天壓電陶瓷控制器的控制下,可進(jìn)行步進(jìn)掃描或連續(xù)掃描。

 

光束調(diào)整

同步加速器的用戶對輸出光束有不同的要求。其中一個(gè)非常重要的方面是調(diào)整光束方塊的大小。 一般通過交換不同尺寸的針孔孔徑來改變孔徑尺寸,但該方法實(shí)現(xiàn)不方便且費(fèi)時(shí)。

利用兩個(gè)芯明天XY運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷定位臺,正交定向放置,可在幾百微米至1毫米范圍內(nèi)調(diào)整光束的面積,精度可達(dá)幾納米,可在幾毫秒內(nèi)非常地提供不同尺寸的光束方塊,起到光束快門的作用,在準(zhǔn)直器中調(diào)節(jié)輸出光束的尺寸。

 

計(jì)量學(xué)

表面形貌對于質(zhì)量檢驗(yàn)是至關(guān)重要的。

先進(jìn)的技術(shù),如三維測量顯微鏡。通過集成芯明天Z向壓電陶瓷納米定位臺,可將分辨率提高到幾納米,具有非常和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。

 

計(jì)量顯微鏡

使用白光干涉儀對表面進(jìn)行非接觸式3D檢測。

表面檢測對于無數(shù)工業(yè)和研究領(lǐng)域的許多制造工藝都很重要。光學(xué)測量方法提供低至幾納米的分辨率。這種景深需要使用高分辨率壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器。

芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器的負(fù)載能力達(dá)0.5kg,且兼容蔡司、徠卡、尼康、奧林巴斯等廠商的物鏡。

 

AFM顯微鏡

基于壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)。

通過使用三維壓電陶瓷納米定位臺,可在百微米范圍內(nèi)移動(dòng)探頭,具有非常高的分辨率,且壓電陶瓷具有超快的響應(yīng)時(shí)間,可快速地生成圖像。

 

地質(zhì)學(xué)

井中的快速孔隙壓力測量。活塞在伸出位置和縮回位置之間振蕩,并產(chǎn)生資源(例如油)的流體運(yùn)動(dòng)。 這種流體運(yùn)動(dòng)通過地層的孔隙噴射并提供快速和的孔隙壓力測量。井底組件中使用的部件必須能夠承受嚴(yán)苛的條件,如高溫高壓等。

采用芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器,可承受的高溫可達(dá)200℃,在高壓下不會(huì)造成嚴(yán)重的性能損失。

 

生物顯微學(xué)

在傳統(tǒng)的顯微鏡中,分辨率的極限是光波長的一半。

在顯微鏡系統(tǒng)中集成芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器,可得到超分辨率步進(jìn)顯微鏡,滿足藍(lán)光200nm分辨率要求。

 

光譜學(xué)

光束線具有非常高的挑戰(zhàn)性要求。其中,和第二晶體的平行度必須大于90nrad的步長,在百微米行程范圍內(nèi)的分辨率必須優(yōu)于1nm。

由于晶體的高質(zhì)量和高熱負(fù)荷,還需要*的剛度。

通過使用芯明天封裝壓電陶瓷促動(dòng)器可在四次彈跳式水晶單色儀中保證高分辨率。并且芯明天可定制封裝壓電陶瓷促動(dòng)器,可在真空4K的超低溫下使用。并可通過PID控制,形成閉環(huán)回路控制。

 

半導(dǎo)體

芯明天為半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行大型晶圓的切割及檢測。

通過使用芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器,可調(diào)整激光聚焦加工的焦點(diǎn),即切割加工點(diǎn)。分辨率可達(dá)2.5nm,聚焦范圍110μm,負(fù)載能力達(dá)0.5kg。

 

振動(dòng)器/材料測試/振動(dòng)激勵(lì)

封裝壓電陶瓷促動(dòng)器具有大出力、高動(dòng)態(tài)性的特點(diǎn),空載諧振頻率可達(dá)40kHz,出力可達(dá)50000N。并且,封裝壓電陶瓷促動(dòng)器體積小巧,易于集成,也非常適于材料測試、主動(dòng)減振和振動(dòng)激勵(lì)等應(yīng)用。

 

空間應(yīng)用

壓電陶瓷促動(dòng)器的應(yīng)用不限于地球表面。壓電陶瓷促動(dòng)器用于許多衛(wèi)星任務(wù)和空間站的實(shí)驗(yàn)。 壓電陶瓷促動(dòng)器可用于分析星球表面的結(jié)構(gòu)和機(jī)械特性,或用于檢測的傳感器。也可用于在衛(wèi)星上進(jìn)行望遠(yuǎn)鏡調(diào)節(jié)或主動(dòng)減振或在空間站上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)等。

芯明天具有十年的定制方案經(jīng)驗(yàn),可為您定制航空、航天等適合您應(yīng)用的解決方案!

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