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超精密加工是一種精度*的綜合性的現(xiàn)代加工方法，其加工精度可達納米級，加工工件尺寸可達微米。超精密車削是其中一種非常重要的加工方式。而高精度微進給機構(gòu)在超精密車削中起著舉足輕重的作用。

傳統(tǒng)光學系統(tǒng)由球面元件組成，為消除像差制造非球面，而滿足光學基本理論的元件應(yīng)該是自由曲面，超精密車削方法是實現(xiàn)光學自由曲面納米加工的有效方式。利用壓電陶瓷微進給機構(gòu)超精密制造技術(shù)，實現(xiàn)光學非球面、自由曲面、微結(jié)構(gòu)與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。

芯明天快速刀具定位臺

在超精密車削中，實現(xiàn)刀具的微小位移是進行超精密加工的必要條件。芯明天P93系列快速刀具定位臺是為超精密車削加工而研發(fā)設(shè)計的壓電陶瓷微進給機構(gòu)，利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性，驅(qū)動刀具在運動方向快速微進給，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜面形工件或結(jié)構(gòu)的精密加工。

采用大出力壓電陶瓷

快速刀具定位臺采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電平臺的幾倍，可加工多種材質(zhì)工件及各種回轉(zhuǎn)表面。

高剛度

快速刀具定位臺臺體材料采用不銹鋼材質(zhì)以確保加工過程中的穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。

閉環(huán)控制系統(tǒng)提高分辨率

快速刀具定位臺內(nèi)置高分辨率傳感器進行閉環(huán)運動控制，實現(xiàn)納米級分辨率。